Gama de viaxes
20 mm
Resolución
0,125 μm
Repetibilidade
<1 μm
Rectitude
<2 μm
Paralelismo
<5 μm
Lanzamento
10″(50 μrad)
Guiñando
Velocidade máxima
5 mm/seg
Capacidade de carga
10 kg
Peso
1,5 kg